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为高精度ADAS和自动驾驶开发6轴3D MEMS惯性力传感

发布日期:2020-10-09 05:09

  的系统的6轴一体封装、3D MEMS惯性力传感器“SCHA600系列”(以下简称本产品),并计划于2020年12月底开始批量生产。

  近年来汽车行业因高级驾驶辅助系统(ADAS)的高精度化,需要在只靠全球卫星导航系统(GNSS)无法定位的隧道里、桥梁下也能精确检测车辆位置的传感器技术。

  本产品充分运用本公司独家3D MEMS技术(2),定位精确度能达到误差数十厘米的水准,为高级驾驶辅助系统(ADAS)、自动驾驶等各系统的高精度化做贡献。

  该产品可为零偏稳定性和噪声方面的汽车应用提供最佳性能。村田将对测量轴的正交性进行校准,使系统集成商可略过这一高成本且对操作具有高要求的处理步骤。

  失效安全功能是本产品的特点,它运用参考信号进行监控,检测通信异常、检验bit错误的校验以及饱和、超出额定范围等异常信号。

  已取得专利的本公司的自我诊断功能可以对MEMS元件内部工作情况至整个信号电路是否正常工作进行验证。

  (2)即静电容量型3D MEMS (3维微机电系统)。将硅材料加工成3维结构,实现了传感器精度优异、组件尺寸小、功耗低。

  3D MEMS (即3D Micro-Electro-Mechanical-System,三维微机电系统) ,通过创造性地结合相关技术,将硅材料加工成3维结构并进行密封,使之便于安装和组装并具有精度高、单位体积小、功耗低的特点。被装配在微小的硅材料内部的先进传感器,能够对相互垂直的3个轴向的加速度进行测量。

  利用3D MEMS技术,研制出了高精度倾角传感器的理想的构造。如通过在内部的加速度传感器内增设机械衰减机制,使得倾角传感器和高分辨率测高计即使在强烈震动的环境中也能正常工作。这些传感器产品的耗电量极低,这一优势在通过电池驱动的设备中能够很明显的体现出来。

  所开发的倾斜计采用了3D MEMS技术,在角度检测时能够达到小于1分的精度等级,可从容应对较高级别的水平度测量,在性能方面优于其他所有的MEMS技术。优异的性能与微安级的耗电量相结合,使之成为了无线应用的理想选择。